半干法是指此种方法的脱硫剂以湿态（或半湿态）进入，脱硫终产物呈干态（“湿进干出”）。目前在各个行业有很多变种在运行，效果良好。主要有石灰浆循环流化床法、石灰粉增湿循环流化床法、喷雾干燥法、炉内喷钙尾部增湿活化法等等。

石灰浆循环流化床法与高温循环流化床法在工艺上比较相似，都是利用流化床的沸腾原理，通过强烈的烟气与石灰浆液滴扰动完成传质传热，在分子与石灰液发生反应时候，液滴同时蒸发成粉尘。

一般情况下，脱硫反应器里的烟气温度在160～200℃之间。由于碳酸氢钠吸附剂的高度活性，碳酸氢钠只需略微过量（化学计量因子在1.1和1.3之间）。